掃描電子顯微鏡的制造依據(jù)是電子與物質(zhì)的相互作用，采用不同的信息檢測器，使選擇檢測得以實(shí)現(xiàn)，如對二次電子，掃描電鏡的分辨率一般就是二次電子分辨率，可脫離原子成為自由電子，于試樣表面材料形貌分析觀察作柵網(wǎng)式掃描。
聚焦電子束與試樣相互作，產(chǎn)生二次電子發(fā)射電子顯微鏡正是根據(jù)上述不同信息產(chǎn)生的機(jī)理，產(chǎn)生的次級電子的多少與電子束入射角有關(guān)，也就是說與樣品的表面結(jié)構(gòu)有關(guān)、組成、晶體結(jié)構(gòu)。
原則上講，利用電子和物質(zhì)的相互作用，圖像為立體形象，次級電子由探測體收集，并在那里被閃爍器轉(zhuǎn)變?yōu)楣庑盘枺亟饘僭陔娮邮霓Z擊下發(fā)出次級電子信號，標(biāo)本在固定，以及在可見，其中包括彈性背反射電子和非彈性背反射電子。
掃描電鏡是介于透射電鏡和光學(xué)顯微鏡之間的一種微觀形貌觀察手段，可直接利用樣品表面材料的物質(zhì)性能進(jìn)行微觀成像，現(xiàn)在市面上的掃描電鏡分為臺式掃描電鏡以及大型場發(fā)射掃描電鏡等。
1、掃描電鏡速度
掃描電子顯微鏡的真空要求和小容量的抽真空使臺式掃描電鏡抽真空的時間更短，因此比傳統(tǒng)落地式掃描電鏡能更快地呈現(xiàn)圖像，抽真空時間只有15秒，此外通常由用戶直接操作，節(jié)約了專職操作員執(zhí)行分析，準(zhǔn)備報告并傳達(dá)結(jié)果所需的時間。除了臺式掃描電鏡系統(tǒng)快速的響應(yīng)之外，分析即時性和用戶實(shí)時根據(jù)觀察結(jié)果來指導(dǎo)研究工作是具有相當(dāng)大的潛在價值的。
在一些應(yīng)用中，比如鈣鈦礦的觀察，因?yàn)殁}鈦礦在空氣中容易氧化，因此如果抽真空的時間過長，樣品的表面形貌和成分會發(fā)生改變，顯微鏡能有效地減小鈣鈦礦的氧化。
2、掃描電鏡應(yīng)用
關(guān)于未來需求超過臺式掃描電鏡性能的擔(dān)憂，應(yīng)該根據(jù)潛在需求的確定性和時機(jī)，以及對更高要求應(yīng)用的外部資源可用性來評估。掃描電子顯微鏡的初始投資也可以繼續(xù)提供回報，因?yàn)樵撓到y(tǒng)可用于補(bǔ)充未來的落地式掃描電鏡系統(tǒng)，如篩選樣品或繼續(xù)執(zhí)行日常分析，落地式掃描電鏡應(yīng)用于要求更高的應(yīng)用。
